检测项目

尺寸精度检测：

• 线性精度：全量程偏差≤±0.001mm（参照ISO 10360-2）
• 重复精度：多次测量标准差≤0.0005mm
• 分辨率：最小可分辨尺寸≥0.1μm

• 响应时间：阶跃输入稳定时间≤1ms
• 过冲量：振幅偏差≤2%（参照GB/T 16825.1）
• 频率响应：带宽≥100Hz（-3dB点）

• 温度漂移：系数≤0.005%/℃（-10℃至50℃）
• 湿度影响：湿度变化10%RH引起的偏差≤0.002mm
• 振动稳定性：振幅≤5μm（频率5-200Hz）

• 探针刚性：变形量≤0.001mm/N（载荷10N）
• 导向精度：径向跳动≤0.0003mm
• 磨损量：累计使用1000次磨损≤0.0001mm

• 信号噪声：信噪比≥60dB
• 电源波动影响：电压±5%导致的偏差≤0.0002mm
• 绝缘电阻：≥100MΩ（500V DC）

• 过载保护：超载150%自切断时间≤0.1s
• 电磁兼容性：辐射骚扰≤30dBμV/m（参照CISPR 11）
• 接地电阻：≤0.1Ω

• 采样率：≥10kHz
• 数据传输误差：比特错误率≤10^-6
• 存储容量：≥1GB

• 标准器偏差：溯源不确定度≤0.00005mm
• 校准周期稳定性：年漂移≤0.0001mm
• 比对一致性：多设备差异≤0.0003mm

• 接触力：探针对软材料压痕≤0.0002mm（力≤0.1N）
• 表面适应性：粗糙度Ra≥0.05μm时的精度损失≤5%
• 化学耐受性：耐腐蚀等级≥IP65

• 老化测试：连续运行1000小时后精度变化≤0.0002mm
• 热循环稳定性：-20℃至70℃循环10次偏差≤0.0003mm
• 维护间隔：建议校准周期≥6个月

检测范围

1. 机械探针系统：涵盖接触式与非接触式探针，重点检测高度线性精度与抗干扰能力，确保在微米级位移测量中的可靠性

2. 光学高度传感器：激光干涉仪与CCD图像传感器，侧重分辨率验证与环境光影响测试，强调温度补偿机制

3. 精密机床测头：CNC机床集成测头，检测动态响应与碰撞保护性能，关注高速运动下的重复精度

4. 电子元件高度检测仪：半导体芯片引脚与PCB焊点，重点测量共面性与Z轴偏移，严格规范静态载入效应

5. 医疗器械探针：手术机器人及诊断设备探头，检测生物兼容性与微力控制，确保无菌环境下的精度稳定性

6. 汽车零部件测高系统：发动机缸体与传动部件，侧重热变形补偿与振动环境适应性，验证长期耐用性

7. 航空航天传感器：飞行器高度探头，重点检测极端温度下的漂移与电磁屏蔽，强调高G力冲击测试

8. 3D打印平台校准仪：增材制造设备，检测层高一致性与平台平整度，关注材料热膨胀影响

9. 实验室标准量具：高度规与千分尺，验证溯源精度与机械磨损，确保符合计量基准要求

10. 消费电子触摸屏：手机与平板高度感应器，检测多点触控精度与功耗影响，侧重电磁兼容性验证

检测方法

国际标准：

• ISO 10360-2:2021 坐标测量机性能评定（包含激光干涉法）
• ISO 17025:2017 测试与校准实验室能力（涵盖溯源协议）
• IEC 61000-4-2:2020 电磁兼容性测试（差异说明：与国标要求更高ESD等级）
• ASTM E1155:2020 表面平整度测量（使用激光扫描技术）
• EN 60721-3-3:2019 环境条件分类（侧重温湿度循环参数）

• GB/T 16825.1-2022 材料试验机校准（包含动态响应测试）
• GB/T 2611-2021 机械振动试验方法（差异说明：比ISO更严振动频率范围）
• GB/T 2423.34-2021 气候耐久性测试（高温高湿循环）
• GB/T 17626.2-2018 静电放电抗扰度（差异说明：试验电压等级低于IEC）
• GB/T 13939-2021 光学仪器分辨率检测（使用标准光栅板）

检测设备

1. 激光干涉仪： Renishaw XL-80型（分辨率0.000001mm，量程80m）

2. 电子高度计： Mitutoyo Litematic VL-50（精度±0.0005mm，采样率1kHz）

3. 万能材料试验机： INSTRON 5967（载荷范围0.01N-30kN，控制精度±0.5%）

4. 环境试验箱： ESPEC SH-642（温度范围-70℃至150℃，湿度10-98%RH）

5. 振动测试台： LDS V875（频率5-3000Hz，最大加速度100g）

6. 光学显微镜： Olympus BX53（放大倍数50-1000×，数字成像分辨率5μm）

7. 数据采集系统： National Instruments PXIe-1071（通道数64，采样率500kHz）

8. 精密校准平台： Granite Grade AA（平面度≤0.0001mm/100mm）

9. 电磁兼容测试仪： R&S ESW26（频率范围9kHz-26.5GHz，动态范围120dB）

10. 热像仪： FLIR T865（温度分辨率0.03℃，帧率60Hz）

11. 位移传感器校准器： Heidenhain MT 2571（标准位移±0.00001mm，速度0.1-10mm/s）

12. 表面粗糙度仪： Taylor Hobson Form Talysurf i120（分辨率0.000001μm，测量长度175mm）

13. 信号发生器： Keysight 33522B（频率范围1μHz-30MHz，输出幅度10mVpp-10Vpp）

14. 高精度温度计： Fluke 1523（精度±0.01℃，量程-80℃至300℃）

15. 电源稳定性测试仪： Chroma 61512（电压波动±0.1%，电流范围0-20A）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。